فوق-لوله PFA تمیز|راه حل های سفارشی برای انتقال نور مقاوم در برابر نیمه هادی

 فوق-لوله PFA تمیز|راه حل های سفارشی برای انتقال نور مقاوم در برابر نیمه هادی

لوله‌های PFA فوق‌العاده تمیز به‌عنوان یک خط لوله ضروری برای سیستم‌های انتقال نور مقاوم در برابر نور نیمه‌رسانا عمل می‌کنند، این به دلیل بی‌اثر بودن شیمیایی فوق‌العاده،-شستشوی فوق‌العاده کم یون فلزی، صافی دیواره داخلی-و عملکرد پایدار در طیف وسیعی از دما است.

همانطور که فرآیندهای تولید تراشه به سمت گره‌های پیشرفته پیش می‌روند، فاب‌ها مشخصات سخت‌گیرانه‌تری را بر خلوص و کنترل ذرات برای لوله‌های تحویل نوری اعمال می‌کنند. لوله‌های PFA فوق‌العاده تمیز که به‌عنوان مجرای مهم مایع برای اتصال مخازن ذخیره‌سازی، پمپ‌ها، دریچه‌ها و سایر اجزای سازنده عمل می‌کنند، باید در مقابل خوردگی طولانی مدت از حلال‌های آلی قوی موجود در مقاوم‌کننده‌های نوری مقاومت کنند و در عین حال حداقل یون‌های فلزی و ریزش ذرات را حفظ کنند. این از آلودگی مقاوم به نور جلوگیری می کند و از بازده تولید برای تراشه های گره پیشرفته- محافظت می کند.

برای مدت طولانی، بازار داخلی چین برای لوله‌های نیمه‌رسانای-گرید فوق{1} تمیز PFA به شدت به واردات متکی بوده است، با محصولات درجه{2} درجه برتر برای ساخت تراشه‌های حافظه و منطق پیشرفته که توسط تعداد کمی از تولیدکنندگان بین‌المللی تسلط دارند. برای مقابله با موانع فنی پیرامون مواد خط لوله سیال نیمه هادی هسته ای، Miracle به طور مداوم در تحقیق و توسعه سرمایه گذاری کرده است تا قالب گیری اکستروژن دقیق PFA{4}را با خلوص بالا را اصلاح کند، گلوگاه ها را در کنترل شسته شدن فلزات بشکند و فناوری های تولید پاک{5} کامل را ارتقا دهد. در همین حال، شرکت تأیید صلاحیت و{7}}اجرای در سایت را در کارخانه‌های اصلی و تأمین‌کنندگان تجهیزات نیمه‌رسانا سرعت می‌بخشد. مجموعه محصولات Miracle که دارای قوام دسته‌ای برجسته، مقاومت شیمیایی قوی و خلوص فوق‌العاده-می‌باشد، دقیقاً نیازمندی‌های سختگیرانه سیستم‌های تحویل نور مقاوم در برابر گره‌های پیشرفته را برآورده می‌کند، استقلال زنجیره تامین محلی و توسعه پایدار مواد مصرفی نیمه‌رساناهای حیاتی را پشتیبانی می‌کند.

1. مقاومت شیمیایی استثنایی

لوله Miracle که از رزین PFA با خلوص بالا از طریق فرآیندهای بهینه سازی اختصاصی ساخته شده است، دارای چگالی و ساختار مولکولی یکنواخت با به حداقل رساندن ریز منافذ و نقص های همجوشی است که به طور موثر مسیرهای نفوذ را برای محیط های خورنده مسدود می کند و مقاومت در برابر تورم و تخریب شیمیایی را به شدت بهبود می بخشد.

پس از غوطه‌ور شدن طولانی‌مدت در حلال‌های آلی متداول مقاوم به نور (از جمله PGMEA و سیکلوهگزانون) و همچنین مواد شیمیایی فرآیندی مرطوب مانند اسید سولفوریک و اسید هیدروفلوئوریک، لوله هیچ تورم، ترک یا کاهش جرمی را نشان نمی‌دهد. آزمایش تسریع شده هیچ تغییر آشکاری در ظاهر یا ابعاد و مواد قابل استخراج ناچیز را پس از 168 ساعت غوطه ور شدن در اسید کلریدریک 37 درصد در دمای 85 درجه تأیید می کند، که با جایگزین های{5}}جهان وارداتی برتر در مقاومت شیمیایی مطابقت دارد.

2.-شستشوی یون فلزی کم

لوله‌های PFA فوق‌العاده تمیز Miracle که با-تجهیزات تولید با دقت بالا تولید شده‌اند، خلوص فوق‌العاده مواد را ارائه می‌دهند. مطابق با استاندارد گروهنیمه هادی-لوله پلی تترا فلوئورواتیلن (PFA) درجه ذوبسطوح شسته شدن عناصر فلزی کلیدی از جمله آلومینیوم، کلسیم، کروم، آهن و سدیم همگی زیر آستانه های مشخص شده نگه داشته می شوند. به ویژه، کنترل آن بر ناخالصی‌های حیاتی مانند سدیم، آهن و کلسیم مطابقت دارد یا از محصولات بین‌المللی قابل مقایسه بهتر است و از خلوص سیال کامل-از خط لوله تا بستر ویفر اطمینان حاصل می‌کند.

3. کمTOC و ذراتآزاد کردن

لوله‌های تمام‌شده تحت تمیز کردن اولتراسونیک به‌علاوه شستشوی چند مرحله‌ای با آب فوق‌خالص برای از بین بردن باقی‌مانده‌های آلی و ذرات سطحی سست روی دیواره‌های داخلی قرار می‌گیرند. در حالی که استاندارد حاکم کل کربن آلی (TOC) را کمتر یا مساوی 2000 میکروگرم بر متر مربع می‌بندد، TOC واقعی اندازه‌گیری شده Miracle زیر 60 درصد این حد کنترل می‌شود. ریختن ذرات با استانداردهای صنعت SEMI مطابقت دارد، که منجر به جدا شدن بسیار کمی از ذرات-دیواره داخلی در طول فرآیندهای حساس ذرات- مانند پوشش و توسعه مقاوم در برابر نور می‌شود و به طور موثر از خراشیدن ویفر یا نقص اتصال کوتاه- جلوگیری می‌کند.

4. سطح داخلی فوق العاده{1}

با استفاده از قالب‌های اکستروژن با دقت بالا و پارامترهای فرآیند کاملاً تثبیت‌شده، لوله Miracle به طور مداوم زبری سطح دیوار داخلی- (Ra) کمتر یا مساوی 0.25 میکرومتر را به دست می‌آورد. بازرسی AFM (میکروسکوپ نیروی اتمی) ایراد-سطوح داخلی آزاد عاری از ریزترک را تأیید می‌کند، که تلاطم سیال را مهار می‌کند، چسبندگی ذرات را کاهش می‌دهد و از تجمع مواد شیمیایی باقی‌مانده جلوگیری می‌کند.

مطابق با نیازهای فنی شدید تولید نیمه هادی های پیشرفته برای انتقال مقاوم به نور، Miracle{0}}لوله PFA فوق تمیز{1} Miracle خود را توسعه داده است که شرایط عملیاتی سختگیرانه ای را که نیازمند تمیزی فوق العاده-و مقاومت شیمیایی فوق العاده، تثبیت کننده سیستم های انتقال سیال سیال ویفر و تقویت کننده سیستم های ویفر مایع است، ارائه می دهد.